電容法露點儀原理

電容法露點儀原理

         電容法露點儀芯片的平面金氧化鋁傳感器是基于電容原理測量氣體中水分的含量，傳感器元件在陶瓷襯底上制成，高純度鋁基片置于在金介質(zhì)下。

制造過程中用一種專利技術(shù)使鋁基片部分氧化，在生成的氧化鋁薄膜上再敷一層薄溶敷金膜。

氧化鋁薄膜是多孔滲水的絕緣體，為水分子提供滯留空間，使水分子與周圍環(huán)境相平衡，薄溶敷金膜允許水分子自由進出氧化鋁薄膜，起一個電容器的作用。氧化鋁薄膜下的鋁基片作為電容器的對立板。

傳感器元件在陶瓷襯底晶片上采用半導(dǎo)體技術(shù)制成，制成后傳感器分開放置，然后將每個傳感器粘合在一個承受壓力額定的饋通座上做成探頭，探頭支撐傳感器在工業(yè)過程環(huán)境中定位。

附：冷鏡露點儀原理 

  電解法露點儀原理