英國MICHELL公司高純氣Pura在線露點儀

在許多的高純凈氣體（99.999%）的應(yīng)用場合如半導(dǎo)體行業(yè)，為了滿足現(xiàn)場高純氣使用的要求，可用Pura在線露點儀測量殘留的微量水分，這一數(shù)據(jù)是 為為關(guān)鍵的參數(shù)。在實際應(yīng)用中測量水分含量是非常困難的，因為期間需要使用復(fù)雜的濕度分析儀或昂貴分析技術(shù)。現(xiàn)在，密析爾給市場帶來Pura在線露點儀出廠時就可隨時安裝使用，測量露點低可測達(dá)-120°C（相當(dāng)于<1ppm）。Pura露點變送器匯集了密析爾生產(chǎn)和校驗阻抗露點變送器方面的經(jīng)驗和專業(yè)知識，并結(jié)合了工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)選材和制造工藝，使之成為 款適用于大規(guī)模集成半導(dǎo)體制造工廠及高純凈氣體行業(yè)中的低價位露點變送器。

針對半導(dǎo)體用戶，Pura在線露點儀可以提供兩種任意可選的配置與用戶的設(shè)備結(jié)合。樸若PuraOEM：結(jié)構(gòu)與樸若Pura優(yōu)阻Premium一樣，均為冷拉不銹鋼結(jié)構(gòu)和0.1～0.2μmRa鐳 電鍍拋光。不同的是不具有100 *潔凈指標(biāo)，僅為單層包裝樸若Pura變送器：同樸若PuraOEM，但無流體通過外殼。樸若Pura 變送器出廠帶有1/2”VCR 連接口，如下圖所示。同時配有運輸保護裝置用以保護變送器表面。工作時必須把該保護裝置拆除，以便在使用時達(dá)到大反應(yīng)速度以及小體積采樣室?？商峁┰诿芪鰻杺魉惯~特本安型Transmet IS露點變送器基礎(chǔ)上設(shè)計的樸若本安型PuraIS，其輸出只有4～20mA。

Pura在線露點儀亮點
測量下限 -120°C 露點 (1 ppbV)
測量穩(wěn)定，重復(fù)性好
高度集成的采樣裝置
模擬和數(shù)字輸出
安裝簡便
VCR 過程接口
設(shè)計緊湊小巧
顯示/報警單元可選

Pura在線露點儀技術(shù)指標(biāo)
傳感器
傳感器類型 密析爾陶瓷濕度傳感器
量程 -120 ~ -40°C 露點 (校驗到 -100 ~ -40°C)
精度 ±1°C -40 ~ -60°C;
±2°C -61 ~ -100°C;
±4°C -101 ~ -120°C (估算值)
分辨率 0.1°C -40 ~ -79.9°C;
1°C -80 ~ -100°C;
1 ~ 3°C -100 ~ -120°C
壓力 低 10-9 torr; 大 24 MPa
氣體流量 1 ~ 5 Nl/min

Pura在線露點儀電氣
電源 通常 24 V DC, 低10 V ~ 高28 V , 大電流 25 mA
輸出 4-20 mA 輸出, 對應(yīng)范圍可由專用軟件調(diào)整, 調(diào)整量程從 1 ~ 80°C (標(biāo)配提供)
大負(fù)載 = 100 Ω + 50 Ω x (V 電源 -8)
輸出出錯狀態(tài) 標(biāo)準(zhǔn)輸出出錯信息如下: 23 mA = 傳感器故障; 20 mA = 超上限; 4 mA = 超下限
機械性能
傳感器套筒 不銹鋼, 0.1-0.2 Ra µm 電鍍內(nèi)拋光
氣路連接端口 Premium 或 OEM 型: ¼" m VCR 接口
Pura Sensor 型: ½" m VCR 接口
安裝配置 Premium 或 OEM 型: 120.00mm 長, 氣路端口的端面密封. 無需預(yù)留管路空隙
底座上有 2 個 M4 x 0.7, 7mm 深的安裝孔, 斜對面橫豎間距均為 20 x 20mm
Pura Sensor 型: 適用于用戶提供的 ½" VCR 端口中
尺寸 Premium 或 OEM 型: 120 x 35 x 150mm
Pura Sensor 型: 132 x 35mm
重量 Premium 或 OEM 型: 450g
Pura Sensor 型: 180g
包裝 Pura: 雙層包裝, 惰性氣體填充密封
Pura OEM 或 Pura Sensor 型: 單層包裝
所有選配件: 獨立包裝運輸
Sensor 型在傳感芯片端自帶保護套,用以運輸及操作

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密析爾儀表引領(lǐng) 的水分和濕度(露點儀)測量領(lǐng)域。本公司具備超過30年的專業(yè)經(jīng)驗，設(shè)計和生產(chǎn)多種變送器、儀表和系統(tǒng)解決方案，用來測量微量水分、濕度和露點，其工業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域十分廣泛，包括壓縮空氣、發(fā)電、過程處理、油氣、制藥等等。 密析爾儀表擁有三個生產(chǎn)基地：荷蘭Oosterhout，法*里昂和英*伊利。公司擁有一個廣泛的網(wǎng)絡(luò)，工廠 培訓(xùn)應(yīng)用工程師，分公司和經(jīng)銷商人員遍布56個 。
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